3D粗糙度重建
借助3D粗糙度重建模块,Phenom可以产生样品的3D还原图像,并进行亚微米量级的粗糙度测量。
3D粗糙度重建模块可以帮助用户更加细致的分析Phenom台式扫描电子显微镜所得到的图像,提取出样品的隐藏信息,并将其可视化。
3D
3D图像可以帮助用户更好的理解样品特点,使得在2D图像中很难分辨的凹坑、划痕、刻纹等特征,变得清晰可见。
粗糙度
平均粗糙度(Ra)及粗糙高度(Rz)的测量对于生产工艺的控制和改进具有重要意义。使用SEM图像作为信息收集手段,可以获得较传统(非直接)手段更佳的分辨率。
3D粗糙度重建模块是Phenom的理想扩展,特别适用于下列领域:
机械加工的质量控制
3D粗糙度重建模块的主要优点
远优于光学或机械测量手段
高分辨率
可测量反射样品
直接测量
非破坏
创新性全自动用户界面
无需倾斜样品
完整解决方案
快速重建
适用于任何Phenom
技术参数:
自动创建3D图像
全3D图像
2D或3D图像,通过颜色指示高度
过滤后的3D图像
自动粗糙度测量
Ra(平均粗糙度)和Rz(粗糙高度)
用户设定波纹过滤
支持5线同时测量
高度信息
位置识别
CSV-自动生成统计信息
数秒之内完成快速3D重建
分辨率512x512
输出:
- 高度曲线
- CSV信息
- 2D/3D图像