型号
RA-1600
货号(mm)
211-723
旋转工作台
旋转精度(径向)
(0.02+6H/10000)um
旋转精度(轴向)
(0.02+6X/10000)um
旋转速度
4,6,10rpm
工作台有效直径
150mm
调心范围
±3mm
调水平范围
±1°
Z大测量直径
Φ280mm
Z大工件直径
Φ560mm
台面Z大承重
25KG
垂直轴
垂直移动
300mm
直线度(窄范围)
0.20um/100mm
直线度(全部范围)
0.30um/300mm
与转盘轴平行度
1.5um/300mm
定位速度
Z大15mm/s
测量速度
0.5,1,2,5mm/s
Z大检测高度
(ID/OD)
Z大检测深度
91mm
50mm
水平臂
水平移动
165mm
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