ZLS-26D/T型分子泵氦质谱检漏仪主要技术参数: 仪器的启动时间: 不大于5minZ小可检漏率:优于5×10-12Pa.m3/s反应时间: 不大3s质谱室允许工作的Z高压强:1×10-2Pa测试口允许工作的Z高压强:1000Pa仪器的轮廓尺寸: 640*550*980 mm3仪器的重量: 约75Kg
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