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DPLZ-1500 微波等离子发生设备

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产品信息 微波等离子发生设备型号 DPLZ-1500 本设备由微波系统、真空系统、水冷系统等几部分组成 电源：AC220V，50Hz 微波功率：0-1500W连续线性可调（或0-800W连续线性可调） 微波频率：2450MHz±50MHz 石英管反应室：φ50mm 放置样品的基片台可以方便地在放电腔内上下升降调节 放电腔两端有双层水冷套作降温保护

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