匀胶机 型号: SC/1B
技术指标及配置:
1. 用于Φ5至Φ100mm硅片及其它材料等匀胶
2. 采用变频器控制电机转速,可实现均匀调速。转速及其匀胶时间分别设置,可同时输入七组数值,即转速及匀胶时间可任意设置为Ⅰ档、Ⅱ档、……Ⅶ档,从而达到启动后先低速运转(Ⅰ档),然后自动执行Ⅱ档、……直至达到高速运转。转速设置范围: 300转/分(或更低) ~ 8000转/分匀胶时间设置范围: 1~3600秒。
3. 转速稳定度:±1%
4. 胶的均匀性:±3%
5. 电机功率:90W
6. 样片托: 1吋、2吋各一个
7. FY-1 机泵一个(0.5升/秒)
8.整机重量:9公斤
烘胶台 智能烘胶台 型号:BP/2B产品主要用于光刻工艺中的前烘和坚膜。本产品具有烘胶速度快、均匀、控温精度高等特点,可长时间连续稳定工作。本产品操作方便、稳定性高,具有较高的性能价格比,可广泛应用于科研和生产。
烘胶板材料不锈钢
烘胶板规格ø200mm
烘烤温度≤200℃
控温精度±2℃
控温形式采用温控仪PID调节(功率调节),自动测温,控温
外形尺寸280×360×220mm