便携式四探针电阻率测试仪 四探针电阻率测试仪 四探针电阻率检测仪 四探针电阻率测定仪 型号:TC-KDY-1A
概述
便携式电阻测度仪是用来测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
本仪器按照半导体材料电阻率的国际及国家标准测试方法有关规定设计。
它主要由电器测量部份(主机)及四探头组成,需要时可加配测试架。
为 减小体积,本仪器用同一块数字表测量电流及阻率。样品测试电流由高精宽的恒流源提供,随时可进行校准,以确保电阻率测量的准确度。因此本仪器不仅可以用来 分先材料也可以用来作产品检测。对1~100Ω•cm标准样片的测量瓿差不超过±3%,在此范围内达到国家标准一级机的水平。
测量范围:
可测量 电阻率:0.01~199.9Ω•cm。
可测方块电阻:0.1~1999Ω/口
当被测材料电阻率≥200Ω•cm数字表显示0.00。
(2)恒流源:
输出电流:DC 0.1mA~10mA分两档
10mA量程:0.1~1mA 连续可调
10mA量程:1mA ~10mA连续可调
恒流精度:各档均优于±0.1%
适合测量各种厚度的硅片
(3) 直流数字电压表
测量范围:0~199.9mv
灵敏度:100μv
准确度:0.2%(±2个字)
(4) 供电电源:
AC:220V ±10% 50/60HZ 功率8W
(5) 使用环境:
相对湿度≤80%
(6) 重量、体积
重量:2.2 公斤
体积:宽210×高100×深240(mm)
(7)KD探针头
压痕直径:30/50μm
间距:1.00mm
探针合力:8±1N
针材:TC
四探针电阻率测试仪/四探针电阻率仪/方阻测试仪/方阻仪/四探针电阻率测定仪 型号:TC-KDY-1
四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。
本 仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及 时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关,在测量某些箔层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触 火花的发生,更好地保护箔膜。仪器配置了本公司的产品:“小游移四探针头”,探针游移率在0.1~0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。 本机如加配HQ-710E数据处理器,测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正,并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的Z大百分变化、平均百分 变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。
2、主机技术能数
(1)测量范围:
可测电阻率:0.0001~19000Ω•cm
可测方块电阻:0.001~1900Ω•□
(2)恒流源:
输出电流:DC 0.001~100mA 五档连续可调
量程:0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
恒流精度:各档均低于±0.05%
(3)直流数字电压表:
测量范围:0~199.99mV
灵敏度:10μV
基本误差:±(0.004%读数+0.01%满度)
输出电源:≥1000ΩM
(4)供电电源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
(5)使用环境:
温度:23±2℃ 相对湿度:≤65%
无较强的电场干扰,无强光直接照射
(6)重量、体积:
主机重量:7.5kg
体积:365×380×160(单位:mm 长度×宽度×高度)
备注:
等级测量时(测电阻率),精度<3%
电气测量时(测电阻),精度在0.3%以内
备注:
仪器包括:主机一台;测试架(包括台面)一个;四探针头1个
公司名称:北京京晶科技有限公司
联 系 人:苏经理
联系方式:/
QQ: 2495283342
地 址:北京市通州区新华北街117号
网 站:www.alyfe.com