TP20标准力模块 ˙感应方向:±X ,±Y ,﹢Z ˙单方向往返精度(2σ): 1.标准测力模块0.35μm 2.中等测力模块0.50μm 3.高测力模块0.65μm˙XY平面预定行程变化: 1.标准测力模块±0.80μm 2.中等测力模块±1.00μm 3.高等测力模块±2.00μm˙重量:22g˙触发力量: 1. XY平面-标准8g 2. XY平面-中10g 3. XY平面-高10g 4. Z轴-标准75g 5. Z轴-低65g
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