上海艾测电子科技有限公司: ,, , ,:-602,-602地址:上海市嘉定区南翔金通路1736弄1号312邮箱:网址:http://www.ai-test.com·产品特点及用途 结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含 晶体(Wafer) 光盘/硬蝶(DVD Disk/Hard Disk)) 平面电组件(MEMS Components) 平面液晶显示器(LCD) 高密度线路印刷电路板(HDI PCB)) IC封装(IC Package)) 以上其它材料分析与组件微表面研究 专业级的3D图形处理与分析软体(Post Topo) 提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析 提供自动表面平整化处理功能 提供高阶标准片的软件自校功能 深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式 线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度(Rorghness)与起伏度 (waviness)的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据(Wafer) 区域分析方式提供图形分析与统计分析。 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换(FFT)处理功能。 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出 专业级的3D图形处理与分析软体(Post Topo) 系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹 垂直高度可达0.1nm 高度的分析算法则,让你不在苦候测量结果 垂直扫描范围的设定轻松又容易 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择 平台XYZ位置数显示,使检标的寻找快速又便利 具有手动/自动光强度调整功能以取得的干涉条纹对比。 具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择。 具有的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌。 具有自动布补点功能 可自行设定扫描方向