TS 等离子清洗机

清洗时间：

1-6000秒钟可调

功率大小

10%-可调

内腔尺寸

100mm×270mm

*外形尺寸：

440*390*200mm

*重量：

25Kg

*真空泵：

100Pa

*真空室温度：

小于65°C

*冷却方式：

强制风冷

*产品型号

TS-P2L-A

*供电电源：

AC220V

*工作电流：

整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)

*射频电源功率：

200W

*射频频率：

40KHZ（偏移量小于0.2KHz）

*频率偏移量：

小于0.2KHz

*特性阻抗：

50欧姆，自动匹配

*真空度：

30Pa—100Pa

*气体流量：

10—100ml/min(可调)

*过程控制：

MCU自动与手动方式