四探针电阻率测试仪/四探针电阻率/方阻测定仪 型号:MHY-05093
概述
MHY-05093 型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准。
仪器成套组成:由主机、选配的四探针探头、测试台以及PC软件等部分组成。
主机主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成,USB通讯接口。仪器主机所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘和数码开关输入;具有零位、满度自校功能;测试功能可自动/手动方式;仪器操作可由配套软件在PC机上操作完成,也可脱PC机由四探针仪器面板上独立操作完成。测试结果数据由主机数码管直接显示,也可连机由软件界面同步显示、分析、保存和打印!
探头选配:根据不同材料特性需要,探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头,以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;也有球形镀金铜合金探针探头,可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜(ITO膜)或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头,也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。
测试台选配:一般四探针法测试电阻率/方阻配DP-A或DP-B或DP-C或DP-F型测试台。二探针法测试电阻率测试选DP-K型测试台,也可选配DP-D型测试台以测试半导体粉末电阻率,选配DP-G型测试台测试橡塑材料电阻率。
仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。
仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。
三、基本技术参数
3.1 测量范围
电 阻:1×10-4~2×105 Ω ,分辨率:1×10-5~1×102 Ω
电阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm 方 阻:5×10-4~2×105 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×102 Ω/□
3.2 材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)
直 径:DP-A圆测试台直接测试方式 Φ15~130mm,手持方式不限
DP-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm,手持方式不限.
长(高)度:测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限.
测量方位: 轴向、径向均可
3.3. 4-1/2 位数字电压表:
(1)量程: 20.00mV~2000mV
(2)误差:±0.1%读数±2 字
3.4 数控恒流源
(1)量程:0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA,1A
(2)误差:±0.1%读数±2 字
3.5 四探针探头(选配其一或加配全部)
(1)碳化钨探针:Φ0.5mm,直线探针间距1.0mm,探针压力: 0~2kg 可调
(2)薄膜方阻探针:Φ0.7mm,直线或方形探针间距2.0mm,探针压力: 0~0.6kg 可调
3.6. 电源
输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<20W
3.7.外形尺寸:
主 机 220mm(长)×245 mm(宽)×100mm(高)
净 重:≤2.5kg