Pfeiffer 残余气体分析仪(四级杆质谱仪)集高灵敏度, 高稳定性和智能操作于一体, 配置新一代的操作软件 PV MassSpec, 可定量定性评估真空系统中的残余气体成分. 可检测分压 3 X10-15 hPa.
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 特性:
模块化设计保证兼容性, JSON 编程界面和多种接口易于系统集成
分析仪器和电子单元可灵活互换
双灯丝延长工作时间
可检测分压 3 X10-15 hPa
Pfeiffer残余气体分析仪PrismaPro技术参数:
型号
|
QMG 250 F1
|
QMG 250 F2
|
QMG 250 F3
|
QMG 250 M1
|
QMG 250 M2
|
QMG 250 M3
|
检测器
|
法拉第 Faraday (F)
|
电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
|
质量数 amu
|
1–100
|
1–200
|
1–300
|
1–100
|
1–200
|
1–300
|
四极杆直径/长度
|
6 /125 mm
|
Z小检测极限 F hPa *1,2
|
4X10-13
|
5X10-13
|
7X10-13
|
-
|
-
|
-
|
Z小检测极限 M hPa *1,2
|
-
|
-
|
-
|
3X10-15
|
4X10-15
|
5X10-15
|
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3
|
5X10-4
|
4X10-4
|
3X10-4
|
5X10-4
|
4X10-4
|
3X10-4
|
工作压力 F hPa
|
5X10-4
|
工作压力 M hPa
|
-
|
-
|
-
|
5X10-5
|
5X10-5
|
5X10-5
|
对临近质量数的影响*1
|
< 10 ppm
|
< 20 ppm
|
< 50 ppm
|
< 10 ppm
|
< 20 ppm
|
< 50 ppm
|
操作温度 分析
|
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
|
操作温度 电子
|
5 – 50 °C
|
烘烤温度 分析
|
300 °C
|
连接法兰
|
DN 40 CF-F
|
保压时间
|
1 ms – 16 s/amu
|
重量
|
2.5 kg
|
3.2 kg
|