COXEM库赛姆台式扫描电子显微镜EM-30 Plus

COXEM库赛姆EM-30 Plus台式扫描电子显微镜
COXEM库赛姆EM-30 Plus台式扫描电子显微镜超高分辨率台式（桌面式）扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用

BSD探测器成像的局限性，利用创新的双聚光镜成像技术，采用大型扫描电镜成像方式，使用二次电子探测器作

为基础成像单元，从而，可以获得更高的分辨率（<5nm），是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。EM-30 

Plus台式电镜配置SE+BSE探测器，可实现对样品的元素衬度、形貌衬度进行分析，同时，也可选配EDS探测器（

能谱仪），快速实现扫描电镜对材料微区化学成分进行定性及定量分析。

COXEM（库赛姆）EM-30 Plus产品技术亮点：
超高分辨率（5.0nm @30kV SE）； 
更大的放大倍数x 150,000；
更加简单易用的导航模式，更加快速的操作模式；
同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集；
更加先进的低真空模式；
全新升级的分析软件，舒适通用；
COXEM库赛姆EM-30 Plus台式扫描电子显微镜从1kV-30kV同标准电镜相同的全加速电压量程；

技术指标：

放大倍数

x20 ~ x150,000

加速电压

1~30kV

电子枪

钨灯丝

探测器

标配二次电子像（升级）、背散射电子像（可伸缩），可选配能谱仪

样品台:

X: 35mm (马达驱动)， Y: 35mm (马达驱动)，

T: 0- 45°(马达驱动)， R: 360°，Z: 5-50mm

样品座

通用7个样品桩的样品台

通用25mm的样品台

通用倾斜

通用截面台

试样尺寸

45mm（高）,60mm （直径）   

图像模式

(像素)

Focus聚焦（160 x120 pixel）

RED选区（320x240），

TV（640x480）

Slow（800x600）

Photo（1280x960，2560x1920，5120.x3840）

真空系统

涡轮分子泵（小于3分钟）

软件

全新的NanoStation 3.0TM

自动功能

聚焦、灯丝、亮度、对比度   

特殊功能

导航模式

驾驶模式（通过控制杆操作）

SE+BSE混合像，分屏同时显示SE,BSE像

组成、形貌

线轮廓

操作系统

Windows 7

操作方式

控制杆，鼠标，键盘

外形尺寸

400×600×500,90kgCOXEM库赛姆EM-30 Plus台式扫描电子显微镜

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