主动隔振,主动减振,主动除振,主动防振系统。为各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜(AFM)、横向力显微镜。白光干涉仪,光刻机,微纳米结构和加工仪器!超低频隔震台、防震台、减震台、除震台。
产品特点
应用
- SPM ( AFM, STM, NSOM 等 )
- 高精度计量
- 干涉测量
- 荧光显微镜
- 高分辨率显微镜
- 摩擦学和纳米技术
- 轮廓测量

- 细胞外培植
产品优势
- 系统主动检测输入振动并动态消除
- 六个空间方向的自由隔振
- 系统内部反馈回路YZ所有机械共振
- 低频隔振性能
- 无低频共振、无空气要求
工作原理
TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术,可以隔离6个空间方向的振动(包括水平方向和竖直方向),TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中,随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等,方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。
技术参数
隔振范围 主动:0.7-1000Hz ;被动: >1000Hz
传输率 超过10Hz< 0.01(-40 dB)
模块尺寸 W 11.3” x D 28.4” x H 4.5” (AVI-600)
模块重量 60 KG / 132 Lbs
静态柔度(每个模块)
垂直方向 约 12 μm / N
水平方向 约 30-40 μm / N
安全等级 1级
系统噪声 低于20nG/√Hz 从0.1-200Hz
耗电量 通常情况下为10 W(标配)/ 50W (70VA)
输入电压 115 - 230 V AC 10%, 50 - 60 Hz
控制器尺寸 48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”
性能监控 通过在示波器上显示的一个多重信号表示各传感部位是否隔振
材质 铝合金,也可选择铁磁钢板面板、面板上可钻孔与攻丝
型号 隔振模块尺寸(每个模块) 载重(每个模块)
TS-150 长x宽x高:15.7" x 17.7" x 3" / 400 X 450 x 75 mm 150kg/ 330lbs
TS-140 长x宽x高:19.6" x 23.6" x 3.3" / 500 X 600 x 85 mm 140kg/ 300lbs
TS-300 长x宽x高:23.6" x 31.5" x 4.7" / 600 X 800 x 120 mm 300kg/ 660lbs
TS-300LT 长x宽x高:23.6" x 31.5" x 4.7" / 600 X 800 x 120 mm 120kg/ 265lbs
兼容性:可与任何型号的隔声箱配套使用。
固润光电十年销售主动隔振台经验。提供Z专业的技术服务!