AWM40000系列气体质量流量传感器选型指南:
AWM42150VH
AWM42300V
AWM43300V
AWM43600V
流量范围(满量程)
±25sccm
±1000sccm
+1000sccm
+6LPM
输出电压@标定点
8.5±1.5mV @25sccm
54.7±3.7mVDC @1000sccm
5±0.15VDC @1000sccm
5±0.15VDC @6LPM
零点电压
0.0±1.0 mV DC
1.00±0.05VDC
零点漂移+25~-25?C +25~85?C
±0.20mV DC
±0.025VDC
输出电压漂移+25~-25?C +25~+85?C
+2.5%读数(典型值) -2.5%读数(典型值)
±2.5%读数(值) +6%读数(值)
-5%读数(值) +6%读数(值)
重复性&迟滞
±0.35%读数
±1.00%读数
±0.5%读数
压降@满量程(in H2O)
1.50(典型值)
1.02(典型值)
8.00(典型值)
Min Typ. Max.
电源(VDC)
8.0 10±0.01 15 (2)
功耗(mW)
50 60
反应时间(ms)
1.0 3.0 (1)
共模压力(psi)
150
输出负载
NPN(电流沉):10mA PNP(电流源):20mA
标定气体
氮气(AWM42150VH为氢气)
比率变化量
±0.3%读数
工作温度
-25~85C
储存温度(?C)
-40~PREFIX = ST1 90C
冲击
100g峰值(5drops,6axis)
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