共聚焦显微镜,液晶电视纳米晶粒检测

μscan共聚焦显微镜测量液晶电视触摸屏纳米晶粒半导体材料检测，材料表面的三维轮廓测量，粗糙度测量，宽度，高度，角度，半径、粗糙度等二维、三维数据分析。能直接测量较大面积的样品，而不用通过拼接。 
μScan的ZX部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用，如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是连接CF4激光共聚焦传感器。 
CF4激光共聚焦传感器内，被照亮的小孔成像在被测量的表面，激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上，只有当焦平面和真实表面的点配对的时候，探测器才记录到一个表面信号。因此物镜得通过小的垂直步位移动，使信号通过位移传感器的位置移动被测出。根据特殊的内插技术，该系统的精度能达到10nm以下。 

应用 
集成电路封装和表面贴装：快速获得封装翘曲变形、引线共面性、粗糙度、焊料的体积、引线轮廓。 
厚膜混合电路:膜厚度的自动化测量 
精密部件：测量精密五金配件、塑料、半导体材料的轮廓、粗糙度等 

技术参数 
1. 测量原理：非接触，激光共聚焦 
2. 扫描模块： 
2.1 XY方向测量范围50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm（可选）,马达驱动 
2.2 XY方向平台分辨率0.5um 
2.3 Z方向位移范围100mm 
2.4 测量速度50mm/S. 
3. 传感器模块 
3.1 共聚焦传感器，激光光源1.5 µm spot size，1 kHz data rate 
3.2 Z方向分辨率0,02um 
3.3 XY方向分辨率1um，可连续一次扫描成像，范围达到200mmX200mm 
3.4 工作距离 4mm 
3.5 Z方向测量范围1mm 
4 系统配置 
4.1 计算机：高性能计算机控制系统； 
4.2 配有专业工作台， 尺寸L1000 x H750 x W800 (mm) 
4.3 可为CF传感器选配离轴摄像头(10X)，视野8 x 6 mm² 
4.4 功能全面的软件 

4.5 数据分析：轮廓测量、宽度，高度，角度，半径、粗糙度等二维、三维数据分析 

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