隐形眼镜非接触式高精度测厚仪

                        非接触法测量厚度专家----------超过500家客户

一．应用领域： 

1.光电子行业：

1. 透镜ZX厚及胶合间隙测量
2. 单件元件厚度控制（特别适用于红外材料，测量厚度控制平行度）
3. 平板玻璃厚度测试：浮法玻璃、液晶平板

2.薄膜行业：测量塑料薄膜的厚

3.YL行业：测量滴液管、塑料管壁厚、直径等

二.测量原理：

                图（1） 

                图（2）

Lumetrics厚度测量系统的测量原理是采用了短相干光源的迈克尔逊干涉仪。如图（1）、（2）Light Source(短相干光源)发出短相干光束,经Beamsplitter分束成两束光，这两束光通过准直仪聚焦到Measurement  arm(测量臂) 和Reference  arm(参考臂)上，在测量臂段，光束经待测物前后两表面反射产生两束反射光；在参考臂段，光束被delay line(延迟线路)中的扫描参考镜反射。各反射光束经光纤返回到Beamsplitter中，此时扫描反射镜反射的光束分别与R1和R2两束光发生干涉产生两干涉信号经探测器(光电二级管)转换为电信号再由显示仪显示。参考镜位置可以精确移动，当干涉仪的测量臂与参考臂光程相等时，才能够发生干涉。这样通过监控参考镜的移动，就可以测量被测镜的位置。

三．性能参数：

Lumetrics产品被广泛应用于各行各业，Lumetrics既可以提供独立的测量头，也可以组合成各类测量设备，下面是一些实例：

此外，Lumetrics产品还被集成在各种设备中，广泛应用在各工业领域，下图是一些实例：

用于检查硅片键合质量

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