108 Auto/SE是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
一、 自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和Z佳的导电喷镀效果。
二、 通过GX低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
三、 操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
四、 在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，
五、 通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。
六、 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和Z佳的镀膜效果。
七、 可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。
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技术参数
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样品室大小
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直径150mm x 165mm 高 (5.9" x 6.5")
高度可调：165mm—250mm (6.5" to 9.8")
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靶材
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Au 靶为标配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;大小：直径57mm x 0.1mm厚
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样品台
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可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为60mm
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旋转样品台（选件）
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非重复的旋转、行星式转动，可倾斜0-90°
转动速度可调
可配4个样品台
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溅射控制
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微处理器控制，安全互锁，可调，Z大电流50mA，程序化数字控制
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溅射头
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低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
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模拟计量
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真空： Atm - 0.001mbar
电流：0—50mA
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厚度监控
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使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程
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控制方法
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自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气
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桌上系统
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真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统
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膜厚控制仪(选件)
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MTM-20
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基于微处理器，4位数字显示，复位按钮， 6MHz晶体（具有寿命检查功能），5次/s的更新速率
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膜厚范围
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0.0 - 999.9nm
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分辨率
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优于 0.1nm
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密度范围
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0.50 - 30.00gm/cm3
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修正系数范围
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0.25 - 8.00
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镀膜终止范围
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膜厚0 - 999.9nm
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