IXION-193-SLM - 193nm单频激光器
IXION-193-SLM是一款TEM00,二极管激光器泵浦,Q开关全固态,单频激光器系统,适用于光学计量学、193nm步进光学校准或者更高功率ArF准分子激光器的带宽控制等应用。光谱带宽接近理论傅里叶极限。
系统的ZX波长可以按时间顺序在190nm和194nm之间选择,精度0.01nm。可选配高精度光谱仪(光谱精度0.001nm)集成到系统中,以达到控制激光器的调谐。
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应用
- 193nm计量学
- 光谱仪校准
- 干涉度量学
- 准分子激光器的种子激光器
特点
- 工业上验证的频率转换
- 二极管激光器泵浦
- 密封外壳
- 优越的TEM00光束轮廓
- 相邻脉冲起伏小<3%
- Labview驱动器
- 19英寸机箱电源和冷却仪
- 可选配集成的光谱仪用于波长控制
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