本公司研发生产的深冷水汽捕集泵采用单机自动复叠制冷方式、进口名Pai压缩机及制冷配件、环保混合制冷剂生产,具有制冷速度快、效率高、温度低,维护方便等特点,其性能指标在国内处于领先地位,达到甚至超过国际先进水平。
工作原理:在使用油扩散泵或分子泵的高真空环境中(10-1~10-5Pa)都存在着一定的残余气体,其中80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽。由于水的分子量比氮气、氧气、二氧化碳等气体的分子量小,分子泵和油扩散泵对其抽空能力表现较差,所以水蒸气对抽真空的速度影响ZD,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷捕集泵则是解决以上问题的上佳选择。
深冷捕集泵的工作原理:深冷机组将一段冷冻盘管(铜管或不锈钢管)制冷到-120℃以下,将冷冻盘管放置在真空系统中的任何部位,由于水蒸气的水分子呈无规则运到状态,ZH撞击到盘管冷冻部位后,通过其表面的低温冷凝效应,被凝结成固体状态,水蒸气变成了固态冰,水分子不再进入真空系统中运动,这就达到了一种抽真空的效果,从而大大缩短抽真空的时间(可缩短30—60%的抽气时间),获得洁净的真空环境。这种专门在真空系统中捕集水蒸气(或气体高沸点的气体)的设备被称之为“深冷水汽捕集泵”,它被广泛应用于真空镀膜、航天、卫生YL等领域。
性 能 特 点
- 单台压缩机运行,能耗低,替代液氮,节约成本;
- 快速吸附水、油蒸汽,可缩短排气时间30—60%;
- 防止扩散泵返油污染真空腔室;
- 降温迅速,3~5分钟内制冷到-120℃,ZD可到-150℃;
- 可以热气除霜,迅速回温,再降温;
- 进口压缩机,环保混合制冷剂;
- 触摸屏+PLC=完善的自动化控制;
- 具有两路负载的入口、出口温度显示;
- 具有水温温度、压缩机排气温度显示及相应报警;
- 缺相、欠压报警;
- 可本地、远程控制自由转换;
- R485计算机数据接口,可以读取数据及控制;
- 具有单台设备两路负载设计;
- 安装方便,操作简单,不产生任何废气;
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技 术 参 数
型号
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TH-135-20A
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TH-135-32A
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TH-135-32AX
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TH-135-50A
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TH-135-50AX
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压缩机
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比泽尔
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比泽尔
|
比泽尔
|
比泽尔
|
比泽尔
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压缩机功率(HP)
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10
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12
|
12
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15
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15
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ZD功率(kW)
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11.7
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14.1
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14.1
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18.1
|
18.1
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工作电流(A)
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21
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24
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24
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31
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31
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电源
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380V,50Hz,三相四线
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工作温度(℃)
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-100~-150
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抽气速度(L/s)
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149000
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238400
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238400
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372500
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280000
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ZD制冷量(W)
(-100℃时)
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2100
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2800
|
2800
|
3800
|
3800
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冷凝管长度
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20m,Φ16mm
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32m,Φ16mm
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双路16m,Φ10mm
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50m,Φ16mm
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双路14m,Φ16mm
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冷凝管表面积(m²)
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1
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1.6
|
1
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2.5
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1.5
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冷却方式
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水冷,水温18℃~30℃,水压2bar~4bar
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冷却水流量(t/h)
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1.8
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2.5
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2.5
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3.2
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3.2
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冷水接口尺寸(mm)
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16
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16
|
16
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19
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19
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预冷时间(min)
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30
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降温时间(min)
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≤3
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≤4
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≤4
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≤5
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≤5
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除霜时间(min)
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≤3
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≤3
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≤3
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≤4
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≤4
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再降温(min)
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≤3
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≤3
|
≤3
|
≤3
|
≤3
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适用油扩泵直径(mm)
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≤800
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≤900
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≤600
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≤1000或2x600
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≤800
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适用腔体直径(mm)
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≤1300
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≤1500
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≤1000
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≤1800
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≤1500
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需要冷水机功率(HP)
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7
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8
|
8
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10
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10
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重量
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480kg
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550kg
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550kg
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580kg
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580kg
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