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| 晶圆（明视场观察） | 晶圆（暗视场观察） |
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| 晶圆（微分干涉观察） | 彩色滤色片（透射观察） |
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业检测显微镜 MX51 规格
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光学系统
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UIS2光学系统（无限远校正）
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机身
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观察方法
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明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
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反射/透射
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反射/透射
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照明装置
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明暗视场反射照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光）
通用反射照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光） |
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照明系统
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反射照明
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100 W卤素/100 W水银/75 W氙
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透射照明
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纤维光导
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对焦单元
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电动/手动
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手动
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行程
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32 mm
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分辨率/微调灵敏度
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微调旋钮转动1周移动0.1 mm
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ZD样本高度
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30 mm
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物镜转换器
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电动型
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明视场微分干涉6孔微分干涉5孔微分干涉ZX输出5孔
明暗视场微分干涉6孔 明暗视场 明暗视场 |
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手动式
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明视场5孔微分干涉6孔微分干涉ZX输出6孔
明视场微分干涉7孔微分干涉5孔微分干涉ZX输出5孔 明暗视场微分干涉6孔 明暗视场 明暗视场5孔 明暗视场 明视场 明视场 |
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载物台
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行程
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6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm （透射照明范围100×100 mm）
4×4 英寸右下（左下）手柄：100（X）×105（Y）mm （透射照明范围96×96 mm） |
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观察筒
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广角视场（视场数22）
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倒置
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双目/三目观察筒
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正像
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三目观察筒
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超宽视场（视场数26.5）
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倒置
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三目观察筒
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正像
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倾斜三目观察筒
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附件单元
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DUV单元/IR单元/自动装载
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外形尺寸
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430（W）×591（D）×495（H）mm（标准组合）
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重量
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26 kg（标准组合）
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奥林巴斯显微镜MX51（半导体检查显微镜）
吉林奥林巴斯显微镜CX21，吉林奥林巴斯显微镜CX31，吉林奥林巴斯CX41显微镜， 吉林奥林巴斯BX41显微镜，吉林蔡司显微镜：13611261966（王亮）
成都奥林巴斯显微镜CX21，成都奥林巴斯显微镜CX31，成都奥林巴斯CX41显微镜， 成都奥林巴斯BX41显微镜，成都蔡司显微镜：13611261966（王亮）
忻州奥林巴斯显微镜CX21，忻州奥林巴斯显微镜CX31，忻州奥林巴斯CX41显微镜， 忻州奥林巴斯BX41显微镜，忻州蔡司显微镜：13611261966（王亮）
运城奥林巴斯显微镜CX21，运城奥林巴斯显微镜CX31，运城奥林巴斯CX41显微镜， 运城奥林巴斯BX41显微镜，运城蔡司显微镜：13611261966（王亮）
晋城奥林巴斯显微镜CX21，晋城奥林巴斯显微镜CX31，晋城奥林巴斯CX41显微镜， 晋城奥林巴斯BX41显微镜，晋城蔡司显微镜：13611261966（王亮）
聊城奥林巴斯显微镜CX21，聊城奥林巴斯显微镜CX31，聊城奥林巴斯CX41显微镜， 聊城奥林巴斯BX41显微镜，聊城蔡司显微镜：13611261966（王亮）
临沂奥林巴斯显微镜CX21，临沂奥林巴斯显微镜CX31，临沂奥林巴斯CX41显微镜， 临沂奥林巴斯BX41显微镜，临沂蔡司显微镜：13611261966（王亮）
烟台奥林巴斯显微镜CX21，烟台奥林巴斯显微镜CX31，烟台奥林巴斯CX41显微镜， 烟台奥林巴斯BX41显微镜，烟台蔡司显微镜：13611261966（王亮）
沈阳奥林巴斯显微镜CX21，沈阳奥林巴斯显微镜CX31，沈阳奥林巴斯CX41显微镜， 沈阳奥林巴斯BX41显微镜，沈阳蔡司显微镜：13611261966（王亮）
无锡奥林巴斯显微镜CX21，无锡奥林巴斯显微镜CX31，无锡奥林巴斯CX41显微镜， 无锡奥林巴斯BX41显微镜，无锡蔡司显微镜：13611261966（王亮）
湘潭奥林巴斯显微镜CX21，湘潭奥林巴斯显微镜CX31，湘潭奥林巴斯CX41显微镜， 湘潭奥林巴斯BX41显微镜，湘潭蔡司显微镜：13611261966（王亮）
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