供气管道
超纯气体、高纯度气体、标准气体传输系统所需的管道规格为ss316l内抛光无缝不锈钢管道。传输的气体介质不同所选用的管道等级也不同,管道主要分为三个等级:电化学抛光--(EP管)、普通抛光管道(PA管)、仪器管(AP管)。
1. 气瓶间内存放的气瓶采用带防倒链的气瓶支架固定,气瓶支架采用全不锈钢材料制做而成坚固耐用、美观大方。
2. 气瓶间内的气体钢瓶与压力调节器之间采用1/4’SS 316L高压金属管连接无渗透。高压管还必需在一定的范围内易于扳动,以保证连接的方便性。
3. 高压管上的钢瓶接头必需与钢瓶角阀的规格相匹配,以确保连接的可靠性。
4. 高压部分必须设置过滤器阻挡固体颗粒物,使之无法进入系统。
5. 气瓶间内设立压力调节面板。其中工作气体采用二托一方式进行供气,即一个压力调节面板配二个气体钢瓶。并供多套设备使用。
6. 压力调节器、系统主控制阀、吹扫阀及相关管件均需牢固的固定在压力调节面板上。压力调节面板应采用全不锈钢材料制成,并且牢固的固定在可靠的位置上,确保其安全性。
7. 系统中所有压力调节器均选用世界知名的专业厂家YUTAKA公司制造的CrownPai的精密压力调节器,压力调节器还必须是专门用于传输标准气体、高纯气体的专用压力调节器,且输出流量大、输出压力稳定、原压变动小、经久耐用。压力调节器与管道的连接方式为双环卡套。传输C2H2的阀体材料为不锈钢SS 316,其余阀体材料为黄铜。
8. 压力调节面板上均有紧急切断系统和吹扫系统。切换系统控制阀选择世界专业厂家TK制造的球型截止阀,高纯氧气的切换控制阀及其它气体吹扫系统控制阀选择世界专业厂家TK制造的针形阀
9. 吹扫气路应分类收集、固定牢固并排放至室外安全地点。
10. 气瓶间内的压力调节面板与控制室内的气路终端之间选用定尺6M的SS 316L不锈钢管进行连接。管道选世界专业厂家制造的产品。
11. 管道之间采用美国全自动定位轨道式氩弧焊机进行内外保护氩弧焊方式连接或不锈钢管道直接连接,其优点是泄漏率可到1X10-9s.c.c./sec.He。焊接设备为Swagelok公司的产品。
12. 管道需用固定卡具固定在管道支架上。管道支架为槽钢结构美观大方。与墙体和管道固定牢固。且为耐火材料制成。
13. 气体管路在铺设过程中要做到横平竖直,为保证管道走线的直线度和管道间的间距,每间隔一定距离应设置一组管卡。卡具应由不燃材料制作而成,美观大方。还应尽量减少弯曲以防止被传输的气体压力、流量损失过大。压力管道拐弯应力集中区应有安全加固,设计合适的拐弯半径,弯曲部位不能有皱折及扭曲。弯曲半径和弯曲质量由专用工具保证。系统布线应尽量减少接缝以降低泄漏的可能性。
14. 系统设置为二次减压系统。控制室内设立气路控制终端上设有压力调节器、输出压力指示计、气路控制阀。
15. 控制终端上的气体出口尺寸要与分析仪的气体入口尺寸相对应。材料全部为不锈钢。
16. 压力调节面板和气路控制终端上粘贴气路编号、气体种类、浓度等标识。
17. 配管时的每根管道每个管件均要用高压的5N高纯氮气进行吹扫才能接入系统,整个系统安装完毕后还要用5N的高纯氮进行大流量气体吹扫,以确保系统的洁净度即流出的气体无油脂及明显的固体颗粒物流出。
18. 系统安装完毕后要用高纯氮气进行高压部分、低压部分气密性实验,对整个系统进行检测。