可再生纯化器芯(75-800和75-802纯化器均可使用)。
技术说明:
纯化气体
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He 、Ne 、Ar 、Kr 、Xe
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杂质的去除
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H2O、H2 、O2 、N2 、 CO、CO2、CH4
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其它杂质去除
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Nox、NH3、CF3、CH4、SiH4
轻的碳氢化合物
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不被去除的杂质
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He、Ne、Ar、Kr、Xe
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推荐操作温度
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400℃
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需要激活时间
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1小时
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激活温度
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450℃
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* 杂质去除整体水平
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<0.1ppm
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推荐ZD工作压力
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80大气压(1175psi)
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** 建议ZD流量
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75-800 75-800-1
0-500mL/min 2-10ml/min
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标准装配
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1/4VCR
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电源要求
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500W 115V 300W 240V(译)
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