清洁度检查显微镜

一、特点: 以影像法为测量原理, 采用光学焦点位置检测方式进行非接触高低差测量。不仅可以对准目标影像, 还能观察测量点的表面状态,对高度,深度,高低差等进行测量。本仪器的各种镜筒还具有明暗场，微分干涉，偏光的观察功能。所以对极细微的间隙高低差，夹杂物、微米以下的突起、细微划痕进行观察。

二、用途：适用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片测试、半导体材料、线束加工蚀刻、液晶电池盖、导线框架等产品的检查观察.也适用于经过磨抛、化学处理的工件表面的金相组织结构，几何形状进行显微观测。并且有三维的计量功能，其解析率达0.0005mm。因此是精密零件，集成电路，半导体芯片，光伏电池，光学材料等行业的必用仪器。

三、主要规格

    2.1  镜筒：铰链式三目头部   30°倾斜   270°旋转

    2.2  高眼点平场目镜: WF10X/22

    2.3  超长物距平场物镜：PLL5X/0.12  WD 26.1， PLL10X/0.25 WD 20.2， PLL20X/0.40  WD 8.80， PLL50X/0.7  WD 3.68。

    2.4  右倾式内定位5孔转换器

    2.5  落射式照明系统： 卤素灯12V30W， 内置孔径光阑，五孔转盘滤色装置（黄、绿、蓝、磨砂）推拉式检偏器和起偏器。

    2.6  调焦结构：粗微动同轴调焦, 带锁紧和限位装置  粗动升降范围30mm  微动格值  0.001mm*100格  数显解析值 0.0005mm。

    2.7  光源：卤素灯 亮度可调  6V30W（BD：12V50W）

    2.8  普通透射照明：可选

    2.9  Z轴升降范围：手轮转动130mm  允许ZG工件 130mm

    X轴移动范围  200mm  解析率：0.001mm  可解锁手动快进

    Y 轴移动范围  100mm  解析如何选购率：0.001mm  可解锁手动快进

    测量精度（3+L/100）mm  (L: 被测长度)

    落射光测量误差≤0.08% 

   3.0工作台尺寸: 360mm*250mm   玻璃板尺寸: 225mm *175mm   工作台承重: 30kg 

     3.1 仪器外型尺寸：380mm*550mm*830mm 

     3.2 净重：100kg  毛重：120kg