适用范围与应用:
●适合客户群: 半导体黄光,蚀刻制程,零件清洗商,设备清洁维护,光电厂,玻璃基板厂,
硬盘厂,太阳能基板等任何有表面Particle Issue产业
●Capture Filter能收集Particles.由EDX或FTIR分析Particle成分
产品质能参数
测量范围:0.3, 0.5, 1.0, 5.0 和10μm , 符合JIS标准
每一尺寸单独计数
所有尺寸微粒数同时显示
可定制微粒尺寸
取样时间:3秒/6秒
光源:长效型激光二极管
可携带配置;NiMH电池操作
输入电源:100-240 VAC,单相
重量:18 lbs (8.2 Kg)
尺寸:9.4" W x 17" D x 12" H
特点说明
内存:2000样本记录,可循环缓冲寄存器(包括粒子、环境数据、位置、时间等)
显示:6.5" FPD 彩色触摸屏
数据:可选微粒子厚度单位:每平方厘米或每平方英寸
报警:可编程控制
自动调整流量:
1.0 cfm (立方英尺/每分钟) 用于 2" 和 3" 的采样探头
0.6 cfm 用于1/2" 采样探头
通讯:RJ-45