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主要规格参数 |
Integra |
6．5．4 |
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测量行程 |
X轴（沿工作台移动方向） |
600 |
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Y轴（沿横梁移动方向） |
500 |
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Z轴 |
400 |
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测量精度（ISO10360-2） |
长度测量ZD允许示值误差MPEe |
1.9+L/350μm |
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ZD允许探测误差MPEp (TP200/SP25) |
2.8/2.5μm |
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ZD允许扫描探测误差MPETHP (SP25) |
3.90μm / 59sec |
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备注：以上精度是在允许每天温度变化4℃以下TP200实现。如果将每天温度变化条件提高到2℃/天（20℃±1℃），空间精度约可提高0.2-0.3μm。 |
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ZD三维速度 |
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40m/min |
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ZD三维加速度 |
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4800mm/sec² |
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工作台ZD承重 |
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500kg |
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机器净重（约） |
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653kg |
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设备轮廓尺寸（约） |
长×宽×高 |
1410mm×1243mm×2293mm |
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Model Size (mm) |
Overall Dimensions (mm) |
Total Mass |
Max 3D Velocity |
Max 3D Acceleration |
Repeat |
ISO 10360 |
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X |
Y |
Z |
L |
W |
H |
Kg |
m/min |
m/min² |
µm |
[E]
µm / mm |
MPEP
µm
(TP200/SP25) |
MPETHP
µm / sec
(SP25) |
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6-5-4 |
1410 |
1243 |
2293 |
653 |
40 |
4800 |
1.50 |
1.90+L/350 |
2.80/2.50 |
3.90/59 |
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原装设备承诺：
本设备完全是原装进口设备
1． 三坐标本体
1-1．Integra的材料特性
Integra采用第四代测量机材料---工业陶瓷制造横梁和测臂（主轴），综合了花岗岩材料
的稳定性和铝合金材料的动态性优势，同时避免了花岗岩材料动态性差和铝合金材料稳定性
差的缺点：
◇温度稳定性
工业陶瓷的热膨胀系数仅约为铝合金材料的1/4或钢的1/2。
◇ 热匹配性
工业陶瓷与花岗岩（工作台）的热膨胀系数之比约为1׃1，三个精度轴热匹配。
◇ 导轨原始精度
工业陶瓷导轨采用磨削成型，精度等级远高于挤压成型的铝合金导轨。
◇ 抗时效稳定性
金属材料成型后，内应力释放将导致构件随之变形，且周期很长，而非金属材料几乎没有
残存内应力。
◇ 刚性（弹性模量）
工业陶瓷的弹性模量（杨氏模量）约为铝合金材料的8倍，如果考虑到此重要因素，其
“ 刚度/质量比”参数约为铝合金材料的4倍。即：在构件结构大致相同时，刚性相同时，工业陶瓷仅需1/4的质量；或：重量相同时，工业陶瓷横梁刚性是铝的4倍。工业陶瓷结构更接近于“准刚体模型”。
◇ 抗锈蚀性
工业陶瓷属于非金属材料，根本不生锈，且内外材料一致（非镀层），易于保养。
综上所述，从计量学角度讲，工业陶瓷更加符合制造精密测量仪器的材料技术要求，这些
先天的物理特性（客户可自行在基础物理学或材料学相关教科书中查证），是精度补偿，温度补偿等后补手段所无法完全替代的。
沪公网安备 31011502008050号
