Talysurf CCI 6000 精密三维表面轮廓光学系列测量仪概述
精密三维表面轮廓光学系列测量仪采用相干相关技术进行非接触式表面测量。此类仪器能在仅10秒内完成测量数据点超过百万的表面测量，分辨率高达0.01 nm (0.1 Å)。
Talysurf CCI 6000 干涉仪是一种先进的高分辨率的计量仪器。像素达100万的传感器作为系统的标准配置。该系统可提供测量重复性和无与伦比的表面细节。
该系统专为需要进行高分辨率测量的（如亚微米级与亚纳米级的z轴分辨率）各种不同类型的表面而设计的。它非常适合应用于许多不同的领域包括：半导体制造业和微机电系统，以及先进的科学研究与光学业。
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技术特点
• 垂直分辨率高达0.1 Å (0.01 nm)
• 测量噪音（实际测量数据）低至0.5 Å (0.05 nm)
• 标准数据测量点为百万, 系统数据测量点可多至四百万亚埃尺度分辨率
Talysurf CCI 6000 适用于高精度三维表面测量分析。一种在垂直方向全程内分辨率为0.1 Å，测量噪音低于0.5 Å的高水准的非接触式三维表面测量仪。
应用示例
