日立2005年在ZG推出了S-4800型高分辨场发射扫描电镜,由于出色的应用性能、良好的稳定性和简易的维护,收到了各界用户的一致好评。
日立2011年新推出了它的后续机型----SU8010,它继承了S-4800的优点,性能有进一步提高,1kv使用减速功能后,分辨率提升到1.3nm,相对于S-4800可以在更低的加速电压下呈高分辨像,明显提升了以往很难观测的低原子序数样品的观测效果。
特点:
1. 优秀的低加速电压成像能力,1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立专利的ExB设计,不需喷镀,可以直接观测不导电样品
3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像
4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
5. 标配有冷指、电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能
6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
二次电子分辨率 |
1.0nm(加速电压15kV、WD=4mm) |
1.3nm(加速电压1kV、WD=1.5mm) |
加速电压 |
0.1~30kV |
观测倍率 |
20~8000,000(底片输出) |
60~2,000,000(显示器输出) |
样品台 |
马达驱动 |
3轴马达 |
5轴(选配) |
行程 |
X |
0~50mm |
Y |
0~50mm |
Z |
360° |
T |
-5~70° |
R |
1.5~30mm |
ZD装载尺寸 |
100mm(ZD) |
150mm(选配) |
探头 |
标配 |
Lower |
高立体感图像 |
Upper |
高分辨SE、BSE图像 |
选配
|
STEM |
明场像、暗场像 |
YAG 探头 |
BSE图像 |
半导体探头 |
BSE图像 |
EBIC |
电子束感生电流图像 |
EDS |
元素分析 |
反污染措施 |
冷指 |
标配 |
物镜光阑 |
内置自清洁功能 |
电子枪 |
内置加热器 |
真空系统 |
离子泵 |
3台 |
分子泵 |
1台 |
机械泵 |
1台 |