大行程压电陶瓷纳米定位平台 大行程压电陶瓷纳米定位平台

产品说明：

大行程纳米定位平台采用了Z高精度的压电陶瓷驱动技术和高刚性低成本的设计技术。

特点：

● ESC系列平台可被用于常温和大气压环境，有些型号还可用于超高真空环境。

● ESC系列平台采用了十字交叉滚柱导轨结构，其承载能力可高达数公斤，其俯仰，方位和转动角度偏差小于0.1mrad。

● 同时，其Z大行程可达50mm,单步进给量可小至50nm。另外，可选配的用于闭环控制的传感器的分辨率达1nm。这个系列平台备有多种形式，尺寸和行程。并可直接互相组合成多轴平台。