产品说明:
采用了独特的数字位移传感器,实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。
特点:
● 驱动机构为压电陶瓷,位置反馈采用数字位移传感器,具有50×50mm开口部的超高精密定位的中空型XY平台,适用于在显微镜下微动。
● 推荐使用控制器FINE-503驱动。此控制器具有RS232C,GP-IB,USB接口。选购测量·控制软件SGEMCSE,SGTERME或SGSFSX等, 可方便地构建位置控制系统。
● 是各种显微镜,精密测量装置,半导体检测装置,高精度曝光,扫描型干涉仪,图像处理装置,或相关生物用装置的选择。
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