产品说明:
采用了独特的数字位移传感器,实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。
特点:
● 采用了独特的数字位移传感器,可实现高精度·高刚性·高速度的压电陶瓷平台。
● 采用压电陶瓷作为驱动机构,开环控制时的行程为90μm〜100μm,理论分辨率达1nm。
● 位置检测采用了数字位移传感器(频率→数字变换方式的微小位移传感器),闭环控制时的显示分辨率为10nm。
● 使用FINE系列控制器,可实现高速定位。
● 重复驱动SFS-H(直动)系列平台,可达10〜15Hz的频率。若使用FINE-01γ的模拟信号驱动时,可达25Hz。
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