主要技术指标
1. Z小可检漏率:5×10-12Pa•m3/s
2. 漏率显示范围:1×10-4—1×10-12Pa•m3/s
3. 启动时间:≤3min
4. 响应时间:≤1.0s
5. 检漏口的Z高压力:300Pa
6. 机械泵抽速:1.1L/s
7. 电源要求:220V,50Hz,单相,10A
8. 工作环境:5-40℃
9. 相对湿度:≤80%
10. 外形尺寸:550(W)Í420(D)Í700(H)
11. 重量:65kg |
主要配置
1. 进口分子泵
2. 进口机械泵
3. 定制检漏仪专用电磁阀
4. 内置标准漏孔
5. 进口放大器
6. 采用质谱专用模块
7. 铱丝(外涂氧化钇)离子源
8. 液晶触摸彩屏 |