英国QUORUM低温灰化仪英国低温灰化仪Q1050 Plasma Asher_详细资料

产品信息 保修期：一年供应商： QUORUM 1050灰化仪，英国QUORUM低温灰化仪，英国低温灰化仪Q1050，煤灰化，EMS低温灰化仪 EMS1050 低温灰化仪 应用领域： l 生物芯片领域 l 医用材料、光学材料研究 l 电子半导体领域 l 高分子材料研究 l 电化学、高端零部件处理 l 有机材料的灰化、刻蚀 仪器性能： l 自动调频高频发生器 l 内置旋转真空泵 l 此系统通常使用氧及氩的混合气体，氧去除有机物质（碳氢化合物），氩对样品表面进行刻蚀 l 低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF) l 真空监测. l 双重气流针阀控制 l 精确时间定时 l 微处理器程序设置 l LCD状态数字显示 l 腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式抽拉系统，样本操作方便 l 聚碳酸脂安全防护 技术参数： 电镜有机样本的刻蚀尺寸 450mm(W)x350mm(D)x300mm(H) 工作腔室派热克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.) (硼硅酸盐玻璃为标准配置) 重量 25Kg 等离子体输出 ZD150w，13.56 MHz 。 等离子体输出 ZD150w，13.56 MHz 。 真空度 >ATM to 1 x 10-5mbar；通常 0.5 mbar to 1.0 mbar. 时间控制最长可设置99小时59分钟 双重气流控制双重针阀气流控制，可选1种或2种气体（校准 5-100cm3/min air at A.T.P) 电源 230 V， 50Hz (3 amp Max)

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电镜有机样本的刻蚀尺寸	450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)
工作腔室	派热克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.) (硼硅酸盐玻璃为标准配置)
重量	25Kg
等离子体输出	ZD150w，13.56 MHz 。
等离子体输出	ZD150w，13.56 MHz 。
真空度	>ATM to 1 x 10-5mbar；通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.
时间控制	最长可设置99小时59分钟
双重气流控制	双重针阀气流控制，可选1种或2种气体（校准 5-100cm3/min air at A.T.P)
电源	230 V， 50Hz (3 amp Max)

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