规格参数: X向行程:200mm 圆工作台直径:φ213mm Y向行程:100mm 平工作台尺寸(mm):260*270 测角目镜角度分划范围:360° 螺纹办廓目镜角度分划范围:±7° 圆工作台角度分划范围:0°~360° 圆分度头角度分划范围:0°~360° 主显微镜立柱的倾斜范围:±12° 顶针间的Z大夹紧长度:700mm 顶针间能容纳的Z大直径:φ100㎜ 高顶针架Z大夹紧长度:200㎜ 高顶针架能容纳的Z大直径:φ250㎜ 干涉狭缝旋转范围:±90° 分度值: X.Y向分度值:0.0002㎜ 测角目镜角度分度值:1′ 轮廓目镜角度分度值:±12 圆工作台角度分度值:30″ 圆分度头角度分度值:1′ 主显微镜立柱倾斜角度分度值:30′