HiPace 300-800M，ATH 500M 上海伯东磁悬浮涡轮分子泵_详细资料

产品信息

磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500

上海伯东德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M：抽速范围在300-800l/s的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵。HiPace M和ATH 500 M拥有5轴磁轴承。动平衡装置会进行自动校准，Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵可以Z小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极低的维护成本确保了其极高的性价比。

Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M产品优点：

1.磁悬浮涡轮分子泵任意角度安装

2.集成控制器

3.清洁无油

4.高气体流量

5.低震动及低磁场干扰

6.磁悬浮涡轮分子泵动平衡自动补偿

7.转速范围大

Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M技术参数：

分子泵型号
分子泵连接尺寸 DN
抽速 l/s
压缩比
Z高启动压强hPa
极限压力
全转速气体流量hPa l/s
启动时间
重量
进气口
排气口
氮气

N₂
氦气He
氢气 H₂
氮气

N₂
氮气N₂

hPa
氮气N₂
min
kg
HiPace® 300 M
100
16
255
215
170
> 1X10¹¹
20
< 1X10^–7
28
2
13.1 – 17.2
ATH 500 M
ATH 500 MT
160
25
550
390
190
> 2X10⁷
2.6
< 1X10^–8
67
2
17 – 18
HiPace® 700 M
160
25
685
600
480
> 1X10¹
8
< 1X10^–7
13
4
15.7 – 20.8
HiPace® 800 M
200
25
790
625
500
> 1X10¹
8
< 1X10^–7
13
4
17.1 – 21.5

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分子泵型号			分子泵连接尺寸 DN				抽速 l/s		压缩比		Z高启动压强hPa		极限压力		全转速气体流量hPa l/s		启动时间		重量
	进气口		排气口		氮气 N₂		氦气He		氢气 H₂		氮气 N₂		氮气N₂	hPa		氮气N₂		min		kg
HiPace® 300 M		100		16		255		215		170		> 1X10¹¹		20		< 1X10^–7		28		2		13.1 – 17.2
ATH 500 M	ATH 500 MT		160		25		550		390		190		> 2X10⁷		2.6		< 1X10^–8		67		2		17 – 18
HiPace® 700 M		160		25		685		600		480		> 1X10¹		8		< 1X10^–7		13		4		15.7 – 20.8
HiPace® 800 M		200		25		790		625		500		> 1X10¹		8		< 1X10^–7		13		4		17.1 – 21.5