型号
MF-A(B)505B
MF-A(B)1010B
MF-A(B)
2010B
2017B
3017B
4020B
XY测量范围
50×50mm
100×100mm
200×100mm
200×170mm
300×170mm
400×200mm
工作台尺寸
280×280mm
350×280mm
410×342mm
510×342mm
610×342mm
Z轴行程
150mm
220mm
目镜
单目镜头或双目镜头选择一种规格,目镜为10X
物镜
标准配置为3X,可选配:1X,5X,10X,20X,50X,100X
调焦方式
手动调焦(粗调每转10mm,微调每转0.1mm)
分辨率
0.001mm/0.0005mm/0.0001mm可切换
测量精度
XY轴:(2.5+0.02L)μm L:为测量长度符合JIS B 7153标准
Z轴:(5+0.04L)μm L:为测量长度
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