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TD600-SH系列按键功能：
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泵吸式硅烷检测仪，手持式硅烷浓度测定仪，SiH4气体分析仪TD500-SH-SiH4技术参数：
检测气体 | 量程 | 精度 | Z小读数 | 响应时间T90 |
硅烷( SiH4 ) | 0-1ppm | ＜±1%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
硅烷( SiH4 ) | 0-50ppm | ＜±1%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
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