2轴型 (X, Y) | 型号 | MF-A505B | MF-A1010B | MF-A2010B | MF-A2017B | MF-A3017B | MF-A4020B |
| 货号 | 176-561A | 176-562A | 176-563A | 176-564A | 176-56 | 176-566A |
3轴型 (X, Y, Z) | 型号 | MF-B505B | MF-B1010B | MF-B2010B | MF-B2017B | MF-B3017B | MF-B4020B |
| 货号 | 176-581A | 176-582A | 176-583A | 176-584A | 176-58 | 176-586A |
调焦方式 | | 手动调焦(粗调焦:10mm/rev 微调焦:0.1mm/rev) |
测量方法 | | 线性导轨和电子光栅尺 |
物镜 | 标配 | 3X (375-037) |
| 选配 | 1X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X |
轮廓照明 | | 带有可调整光圈的远心照明系统 |
| | 卤素灯泡(12V 50W) |
| | 光强度可调,无级亮度调整 |
表面照明 | | 带有可调整光圈的科勒照明系统 |
| | 卤素灯泡(12V 50W) |
| | 光强度可调,无级亮度调整 |
Z轴 | 移动范围 | 150mm (6”) | 220mm (8.7”) |
| 聚集 | 手动调焦(粗调焦:10mm/rev 微调焦:0.1mm/rev) |
| 示值精度 | (5+0.04L)um L为测量长度 (20?C时) |
XY工作台 | 测量范围 | 50x50mm | 100x100mm | 200x100mm | 200x170mm | 300x170mm | 400x200mm |
| 移动装置 | 带有快速移动开关装置 |
| 测量精度 | (2.5+0.02L)um L为测量长度 JIS B7153 (20?C时) |
| 旋转角度 | - | - | - | ±5° | ±5° | ±3° |
| Z大工件高度 | 150mm (6”) | 220mm (8.7”) |
| Z大工件重量 | 10kg (22lbs) | 20kg (44lbs) | 15kg (33lbs) |
分辨率 | | 0.001mm/ 0.0005mm/ 0.0001m/ .0001”/ .00005”/.00001” |
数据输出 | | RS-232数据输出端口 |
电源 | | 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz |
重量 | | 65.5kg | 65.5kg | 69.5kg | 130kg | 138kg | 144kg |
可选配件 | | 光纤照明装置,QM-DATA数据处理器,电子聚集系统,QSPAK视像测量软件 |