机型
LMG-D5-016II
LMG-D5-126II
LMG-D5-305II
LMG-D5-606II
LMG-D5-805II
LMG-D5-1505II
LMG-D5-W2205II
显示器
D5型双屏幕显示器,可切换㎜/inch
光源
可视半导体镭射
测量
范围
0.01~2㎜
0.05~12㎜
0.2~30㎜
0.5~60㎜
0.5~80㎜
0.7~150㎜
0.7~220㎜
Z小表示值
0.05um
0.1um
1um
直线性误差
±0.3 um
±0.5 um
±2um
±2.5um
±4um
±8um
±12um
往返精度误差
±0.2 um
±0.5um
±1um
综合精度
±3um
±5um
±15um
扫描频率
1800回/秒
扫描速度
42m/s
110m/s
170m/s
350m/s
420m/s
560m/s
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