| 品Pai | 四川聚能 | 型号 | 1 |
| 测量范围 | 1 | 测量精度 | 1 |
| 外形尺寸 | 1（mm） | 用途 | 窗口 |
人工合成蓝宝石晶体(Sapphire,又称白宝石,分子式为Al2O3)属刚玉类单晶体。作为硬的氧化物晶体,蓝宝石因其在化学、电学、机械、光学、表面特性、热力学及耐久性等方面所具有的优越特性,在设计高性能光学系统和零件时得到广泛采用。而在半导体工业中,蓝宝石是至今为止应用为广泛的人工合成单晶材料。
主要性能: •化学稳定性
蓝宝石具有高度的化学稳定性，在绝大多数化学反应过程中不会被腐蚀，这包括在半导体晶圆加工时常见的氢氟酸或氟离子反应环境中(NF3, CF4)。而在类似环境下,石英和多晶氧化铝或其它陶瓷材料都会被完全腐蚀掉。蓝宝石单晶的高度化学稳定性在实际应用中的优势主要体现在:
1.由蓝宝石单晶制成的窗口和光学零件坚固耐用,不易磨损;
2.高纯度和耐腐蚀特性使蓝宝石单晶材料不会造成对加工过程的污染。 |
| |
•电学特性蓝宝石单晶具有较高且稳定的介电常数,以及作为电子基底材料、射频(RF)和微波传输窗口及电子管所必需的电绝缘度。在实际应用中，选择适合的晶轴方向可以确保晶体器件恒定的电学特性。•机械特性蓝宝石单晶因其高硬度和坚固性,可以在范围从超低温直至1500°C以上的不同环境中保持高度的稳定性。1.蓝宝石晶体具有6倍于石英材料的硬度;2.由蓝宝石晶体制成的管材和窗口可以在高压环境下安全使用;3.可以用蓝宝石晶体制作较薄的悬臂器件而不会产生弯曲或下垂;4.超高的硬度可以使蓝宝石晶体器件长期无磨损。•光学透过率蓝宝石单晶材料的透过率为0.2微米至4微米,加之其优异的化学稳定性,抗磨损,高硬度和耐高温等性能,蓝宝石制作的窗口片和传感器光学零件可以广泛应用于高真空系统，高温炉或其他复杂环境中。1.蓝宝石窗口片和光学器件广泛应用在传统光学玻璃或石英材料难以承受的加工环境中;2.应用于超出石英材料透过范围的光学应用中;3.不会因紫外光照射引起透过率变化。•表面特性在作为基底材料使用时,蓝宝石可以被抛光成超高平面度和表面质量,并且可以加工成高精密机械零件。1.均匀的抛光处理使晶体器件周边不出现毛边;2.光滑的表面使基片接触面之间不出现任何微粒。•热力学特性2000 °C以上的熔点和较高的热传导率，加之优越的化学、机械及光学特性，使蓝宝石晶体广泛应用于许多苛刻的加工环境中。1.石英材料透过率会在高温下下降,而蓝宝石晶体可以在更高温度下稳定工作;2.蓝宝石晶体在高温下不会开裂。•耐磨损性由于具有很高的硬度和透明度,蓝宝石晶体常用于制作耐磨损窗口或其它精密机械零件。1.蓝宝石晶体的性能优于钻石或氧化铝膜;2.蓝宝石精密器件因其耐磨损和高化学/热力学稳定性,可以长期稳定使用。
