型号
DYT111
DYT112
DYT113
DYT114
行程(mm)
50
100
150
200
台面尺寸(mm)
90×90
120×120
导轨
线性轴承
螺杆导程(mm)
4
分辨率(mm)
0.00032
Z大速度(mm/s)
20
40
重复定位精度(mm)
<0.003
轴向背隙(mm)
<0.018
步进电机
42步进电机(步距角1.8°)
Z大静转矩(Ncm)
ZX负载(kg)
15
10
7
自重(kg)
2.8
3
3.3
3.8
备注
可选配防护罩,应用真空环境中,需单独订货
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