型号
DYT222
DYT223
DYT225
行程(mm)
30
50
150
台面尺寸(mm)
90×90
90×110
115×245
导轨
交叉滚珠导轨
螺杆导程(mm)
2.5
4
分辨率(mm)
0.0002
0.00032
Z大速度(mm/s)
20
32
重复定位精度(mm)
<0.005
Z大轴向背隙(mm)
<0.018
步进电机
42步进电机(步距角1.8°)
Z大静转矩(Ncm)
40
ZX负载(kg)
自重(kg)
2.2
2.8
备注
应用真空环境中,需单独订货
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