DYT600系列超精密型电控平移台(超精密重载型)主要特征:◆超精密滚珠螺杆传动,线性滑块导轨;◆适合精度要求极高,承载大的用户;◆可选配装光栅尺,通过闭环控制以实现位移台的精确定位。主要技术指标:
型号 | DYT601 | DYT602 | DYT603 | DYT604 |
行程(mm) | 50 | 100 | 150 | 200 |
台面尺寸(mm) | 120×120 | 120×120 | 120×120 | 150×120 |
导轨 | 线性滑块 |
螺杆导程(mm) | 4 |
分辨率(mm) | 0.00032 |
Z大速度(mm/s) | 20 | 40 |
重复定位精度(mm) | <0.001 |
Z大轴向背隙(mm) | <0.008 |
步进电机(1.8°) | 42步进电机 |
Z大静转矩(Ncm) | 40 | 50 |
ZX负载(kg) | 20 | 30 |
自重(kg) | 4 | 6 | 8.5 | 12.5 |
备注 | 可选配防护罩,应用真空环境中,需单独订货 |