OPBA/OPSQA 日本西格马光机高平行度铝反射镜_详细资料

产品信息 品Pai 日本西格玛光机型号 OPBA/OPSQA 测量范围光学试验测量精度 2″ 外形尺寸 10~60（mm）用途高平行度反射镜 一、产品概述：在光学平板表面，真空镀上铝膜而成的反射镜。为了防止划伤及氧化，在铝膜面上镀了氟化镁(MgF2)保护膜。此类反射镜被用于低反射率表面(例如，平板或电子线路实验板的表面)的参考反射镜。二、技术指标： 材料 BK7 SFS（人造熔融石英） 光学膜 Al+MgF2(铝膜+氟化镁保护膜） 面精度测量法采用ZYGO公司激光干涉仪测量基板 面精度测量用波长 632.8nm 平行度 ≤2″ 表面质量 40-20 有效尺寸范围实际尺寸的90% 入射角 0° 尺寸公差 ≤ø50，≤50×50mm 直径 +0~-0.1mm 厚度±0.1mm ≥ø60 mm 直径 +0~-0.2mm 厚度±0.2mm 三、透过率四、使用结构五、使用例六、注意：反射率曲线是样品的实测值，而且可能随制造批次不同而变化。检查光路和调整光轴时，请一定戴好激光防护镜。面精度是镀膜前的反射波面精度。产品规格：BK7 D (mm) t (mm) 材料 面精度 (每个面) 平行度 （秒） 光学膜 型号 Ø10 5 BK7 λ/10 ≤2 单面Al＋MgF2 OPBA-10C05-10 Ø15 5 BK7 λ/10 ≤2 单面Al＋MgF2 OPBA-15C05-10 Ø20 5 BK7 λ/10 ≤2 单面Al＋MgF2 OPBA-20C05-10 Ø25 5 BK7 λ/10 ≤2 单面Al＋MgF2 OPBA-25C05-10 Ø30 5 BK7 λ/10 ≤2 单面Al＋MgF2 OPBA-30C05-10 Ø40 6 BK7 λ/10 ≤2 单面Al＋MgF2 OPBA-40C05-10 Ø50 8 BK7 λ/10 ≤2 单面Al＋MgF2 OPBA-50C05-10 Ø60 10 BK7 λ/10 ≤2 单面Al＋MgF2 OPBA-60C05-10 人造熔融石英 D (mm) t (mm) 材料 面精度 (每个面) 平行度 （秒） 光学膜 型号 Ø10 5 SFS λ/10 ≤2 单面Al＋MgF2 OPSQA-10C05-10 Ø15 5 SFS λ/10 ≤2 单面Al＋MgF2 OPSQA-15C05-10 Ø20 5 SFS λ/10 ≤2 单面Al＋MgF2 OPSQA-20C05-10 Ø25 5 SFS λ/10 ≤2 单面Al＋MgF2 OPSQA-25C05-10 Ø30 5 SFS λ/10 ≤2 单面Al＋MgF2 OPSQA-30C05-10 检查光路和调整光轴时，请一定戴好激光防护镜。面精度是镀膜前的反射波面精度。镀多层电介质膜代替氟化镁保护膜，这样可提高反射率5%左右。尽管层数不多，但因是电介质多层膜，制造时需要指定使用的波长，入射角等参数。控制铝膜反射镜的氟化镁（MgF2）保护膜的厚度，可以实现在紫外区域达到Z大的反射率（约85%）。

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品Pai	日本西格玛光机	型号	OPBA/OPSQA
测量范围	光学试验	测量精度	2″
外形尺寸	10~60（mm）	用途	高平行度反射镜

材料	BK7 SFS（人造熔融石英）
光学膜	Al+MgF2(铝膜+氟化镁保护膜）
面精度测量法	采用ZYGO公司激光干涉仪测量基板
面精度测量用波长	632.8nm
平行度	≤2″
表面质量	40-20
有效尺寸范围	实际尺寸的90%
入射角	0°
尺寸公差	≤ø50，≤50×50mm 直径 +0~-0.1mm 厚度±0.1mm ≥ø60 mm 直径 +0~-0.2mm 厚度±0.2mm

D (mm)	t (mm)	材料	面精度 (每个面)	平行度（秒）	光学膜	型号
Ø10	5	BK7	λ/10	≤2	单面Al＋MgF2	OPBA-10C05-10
Ø15	5	BK7	λ/10	≤2	单面Al＋MgF2	OPBA-15C05-10
Ø20	5	BK7	λ/10	≤2	单面Al＋MgF2	OPBA-20C05-10
Ø25	5	BK7	λ/10	≤2	单面Al＋MgF2	OPBA-25C05-10
Ø30	5	BK7	λ/10	≤2	单面Al＋MgF2	OPBA-30C05-10
Ø40	6	BK7	λ/10	≤2	单面Al＋MgF2	OPBA-40C05-10
Ø50	8	BK7	λ/10	≤2	单面Al＋MgF2	OPBA-50C05-10
Ø60	10	BK7	λ/10	≤2	单面Al＋MgF2	OPBA-60C05-10