型号
DYT311
DYT312
DYT313
DYT314
DYT315
DYT316
DYT317
行程(mm)
50
100
150
200
250
300
400
台面尺寸(mm)
120×120
150×120
165×160
导轨
线性滑块
螺杆导程(mm)
4
5
分辨率(mm)
0.00032
0.00039
Z大速度(mm/s)
20
40
重复定位精度
<0.003
Z大轴向背隙
<0.018
步进电机(1.8°)
42步进电机
56步进电机
Z大静转矩(Ncm)
80
ZX负载(kg)
30
自重(kg)
3.4
3.8
4.1
5.5
5.8
6.3
11.5
备注
可选配防护罩。应用在真空环境中,需单独订货
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