MSA5
MSA1
光栅栅距
20um(0.020mm),10um(0.010mm)
光栅测量系统
透射式红外光学测量系统,红外线波长:880nm
读数头滚动系统
垂直式五轴承滚动系统
分辨率
5um
1um
有效行距
50~600mm
Z大工作速度
20m/min(1um) 、60m/min(5um)
输出讯号
TTL,RS422, ~1Vpp
工作电压
5V±5%DC
工作环境
温度:-10~45°C 湿度≤90%
准确度
50~500mm
510~600mm
标准
高精度
60m/min
±5um
±3um
±8um
20m/min
MSA0.5
0.5um
10m/min
★MSA0.2
0.2um
★MSA0.1
0.1um
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