是否提供加工定制 | 是 | 品Pai | 辽东 |
型号 | YX-2D6 | 测量范围 | 2---6英寸晶圆片、晶棒 |
测量精度 | ±30″ | 外形尺寸 | 1140mmx650mmx1030mm(mm) |
用途 | 针对单晶硅、砷化镓、蓝宝石等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量 | | |
YX-2D6晶体定向仪是在标准定向仪基础上,针对单晶硅、砷化稼、蓝宝石等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量,对管套、测角仪进行改进,显示器为外置式,样品台加装承重轨道,可测2---6英寸晶圆片,长400毫米,重30公斤的晶棒;主要测量晶面角度:110、111、100、511等及其它相关晶体的晶向角度。
YX-2D6射线晶体定向仪标准配置为GA、GC、测角仪。
两边测角仪用户也可根据本公司晶体规格、形状选配不同型号测角台,请参考我公司设计的G系列测角仪(GA、GB、 GC、 GE、 GF、GH)型号选购.
晶棒直径
|
2-6英寸
|
晶棒长度
|
400mm
|
样品板面积
|
42×70 mm
|
综合精度
|
±30″
|
显 示 器
|
外置式
|
显示Z小读数
|
10″
|
数字显示
|
外置
|
电路原理
|
YX-2
|