SMC真空过滤器ZFA系列,日本进口SMC气动元件SMC耐冷却液型液压缓冲器是将从大气中吸入的污染物（主要是尘埃）收集起来，以防止真空系统中的元件受污染而出现故障。故吸盘与真空发生器（或真空阀）之间，应设置真空过滤器。真空发生器的排气口、真空阀的吸气（或排气口）和真空泵的排气口也都应装上消音器，这不仅降低噪声而且能起过滤作用，以提高真空系统工作的可靠性。
SMC耐冷却液型液压缓冲器的要求是，滤芯污染程度的确认简单，清扫污染物容易，结构紧凑，不致使真空到达时间增长。
SMC真空过滤器有三个系列：ZFA、ZFB、ZFC。这三种系列的真空过滤器结构原理图分别如下。
SMC ZFA系列真空过滤器是箱式结构，便于集成化。滤芯呈叠褶形状，故过滤面积大，可通过流量大，使用周期长。
SMC ZFB系列真空过滤器是管式连接。由于使用了万向接头，配管可在360°范围内自由安装。使用快换接头，装卸配管迅速。
SMC ZFC系列真空过滤器是小型直通式（进出口在一条线上）快换接头连接，不需工具便可更换滤芯。当过滤器两端压降大于0.02MPa时，滤芯应拆下清洗或更换。SMC真空过滤器ZFA系列,日本进口SMC气动元件CDM2B40-300
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