产品型号
大口径管式真空气氛炉GSL-1100X
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头)
4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上
5、通风装置:需要
主要特点
1、石英管外径为6″、8″、8.5″、11″
2、采用PID控制器,可以设置51段控温程序。
3、控温精度高,保温效果好,温度范围大,炉膛温度均匀性高,可通气氛抽真空。
4、安全可靠,操作简单。
技术参数
1、电源:AC 380V 50/60Hz 5KW
2、石英管:Ø152mm×1000mm,Ø203mm×1000mm,Ø216mm×1000mm,Ø280mm×1000mm
3、加热元件:掺钼铁铬铝
4、加热区域:900mm
5、温区:3个,各300mm长
6、恒温区域:550mm
7、Z高温度;1100℃
8、工作温度:1000℃
9、Z大升温速率:20℃/min
10、推荐升温速率:10℃/min
11、控温精度:±1℃
12、控温段数:51段
产品规格
尺寸:1300mm×650mm×1050mm;重量:150kg
标准配件
1
石英管
1根
2
管堵
4个
3
坩埚钳
1把
4
热电偶
5
真空法兰
1套
6
高温手套
1双
可选配件
1、石英管
2、氧化铝坩埚
3、石英坩埚
4、真空泵
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