电容膜片真空计Inficon CDG045D,CDG100D:
Inficon SKY电容膜片真空计SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar
Inficon SKY电容膜片真空计SKY® CDG100D 0.1 ...1000Torr / mbar
INFICON SKY CDG045D 压力计是实现高精确总压测量与控制的理想之选。CDG045D 真空计温度控制在 45 °C,具有的信号稳定性和可重复性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质,极具成本效益,是高质量、GX益的压强传感器,适用于苛刻的真空应用。
电容膜片真空计Inficon CDG045D,CDG100D:
益处:
拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
诊断端口便于快速服务与维护
两年保修服务,先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
的信号稳定性和可重复性,即使是严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准
合规性和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
电容膜片真空计Inficon CDG045D,CDG100D:
典型应用:
蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
化学和腐蚀性真空过程
一般薄膜和真空过程
作为基准仪器监控测试仪器是否符合国际标准
符合传递标准,确保测量可追溯性
INFICON 提供世界的气体分析、测量和控制仪器。
INFICON 是创新仪器仪表、关键传感器技术和先进过程控制软件的领先供应商,致力于在高度专业化的市场领域提高精密真空过程的生产效率和品质。 这些分析、测量和控制产品对空调/制冷/汽车制造行业的气体泄漏检测至关重要。 它们对许多领域的原始设备制造商 (OEM) 和终用户意义重大,包括平板显示器、太阳能电池、磁光存储介质、科学与消费性光学以及建筑玻璃的半导体和薄膜涂层复杂制造领域。 我们的真空技术还面向许多其他行业的用户,包括生命科学、科研、航空航天、食品包装、热处理、消毒和激光切割等行业。 我们还充分利用自身的真空技术专长,为应急响应、安保和环境监测市场提供独特的有毒化工原料分析产品。
INFICON 在美国和欧洲建立了的制造设施,在ZG、法国、德国、日本、韩国、列支敦士登、新加波、瑞士、ZG台湾、英国和美国都开设了分支机构。
INFICON 宽量程真空计设计紧凑,的准确度和可靠性,采用的四项物理技术涵盖从超高真空到大气的整个真空范围。
INFICON皮拉尼(Pirani)技术可在中低真空范围内进行成本有效的测量。INFICON 微型电容式膜片技术可在低真空范围进行精确测量,而超高和高真空范围则采用由热或冷电离技术。
每一种测量技术均提供单独的传感器或真空计组合 互补的测量技术确保在整个真空范围内的性价比。
![](http://item.yiqi.com/pic/ConPic/1/content15-54-00-55-168823.jpg)