FS4001系列小流量气体质量流量传感器
产品简介：FS4001系列小流量气体质量流量传感器
FS4001系列小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。独特的封装技术使之可用于各类管径，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器。
FS4001系列小流量气体质量流量传感器
产品特点：
- 传感器灵敏度高,有极小的始动流量
- 传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传
- 感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高
- 传感器的零点稳定度高
- 全量程高稳定性
- 全量程高精确度和优良的重复性
- 低功耗
- 低压损
- 响应时间快
主要参数：
| 性能参数 | FS4001 | 单位 |
| 通 径 | 1.0 | 1.8 | mm |
| Z大流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SCCM |
| 量程比 | ≥100:1 | |
| 精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % |
| 重复性 | 0.25 | %读数 |
| 零点输出飘移 | ±30 | mV |
| 输出飘移 | ±0.12 | %/oC |
| 响应时间 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses |
| 工作电源 | 8~18Vdc,50mA | |
| 输出方式 | 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc | |
| Z大流量压损 | 350 | 300 | pa |
| Z大工作压力 | 0.5 | MPa |
| 工作温度 | -10 ~ +55 | oC |
| 存储温度 | -20 ~ +65 | oC |
| 工作湿度 | <95%RH（无结冰、无凝露） | |
| 机械接口 | 可拆式软管接头 | |
| 校准方式 | 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa | |
| 重量 | 15 | g |
热式气体质量流量计 气体质量流量计 气体质量流量计原理
数显气体质量流量计 微小气体质量流量计 多点式气体质量流量计
微型气体质量流量计 气体质量流量计品Pai 气体质量流量计厂家
本公司经营产品种类包括： 流量计系列：电磁流量计、涡轮流量计、涡街流量计、微量流量计，超声波流量计等。
压力/液泣系列：智能差压变送器、单/双法兰压力/液位变送器、投入式液位变送器、经济型压力变送器、高温型压力变送器、精巧型压力变送 器、船用压力/液位变送器，防爆型压力/液位变送器等。
二次仪表（万能温控表、PID调节仪、无纸记录仪、称重仪表、流量仪表、单通道仪表、多通道仪表、巡检仪表、电力仪表、液位/容量仪表、大屏显示器、转速仪表，计数仪表等）。
模块系列：隔离安全栅、温度变送模块、数据采集模块，信号隔离模块等。
温度系列：PT100热电阻、热电偶、凯装式温度、一体化带现场显示温度，卫生型温度等。
沪公网安备 31011502008050号
